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电子束和热蒸发 离子辅助沉积 磁控溅射 离子束溅射沉积
镀膜设备 研切设备 检测设备
研发技术
OTFC-1300
性能： 监控波长350nm ~ 1100nm，搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上。利用自动蒸镀控制系统可实现全自动蒸镀。
SPOC-1100
性能： 能进行高精密的光学多层膜镀膜，主要用于生产光通信用的滤光片。
IBSV-1030
性能： 监控波长380nm～1650nm，可实现多光路监控。
